Химические и физические свойства
| Тип | R-23 |
| Тип | HFC (ГФУ) |
| Молекулярная масса | 70 г/моль |
| Точка кипения | -82,2°C |
| Критическая температура | 25,95°C |
| Критическое давление | 4,832 МПа |
| Критическая плотность | 0,524 г/см3 |
| Чистота | ≥99,9% |
| Влажность | ≤10 ppm |
| Кислотность | ≤0,1 ppm |
| Остаток выпаривания | ≤100 ppm |
| Внешний вид | бесцветный |
| ODP | 0 |
| GWP | 6 |
| Химическое название | трифторметан |
| Химическая формула | CHF3 |
| Страна производитель | Китай |
Описание
CHF3(трифторметан) используется в полупроводниковой промышленности при плазменном травлении оксида кремния и нитрида кремния. Известный как R23 или HFC-23, он также является полезным хладагентом, иногда в качестве замены хлортрифторметана (CFC-13), и является побочным продуктом его изготовления. При использовании в качестве средства пожаротушения флуороформ носит торговое наименование DuPont, FE-13. CHF3 рекомендуется для этого применения из-за его низкой токсичности, его низкой реакционной способности и его высокой плотности. R23 использовался в прошлом в качестве замены Halon 1301 [cfc-13b1] в системах пожаротушения в качестве агента полного подавления газообразного пожаротушения.
